無(wú)塵車間也叫潔凈廠房、潔凈室(Clean Room)、無(wú)塵室,是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
潔凈廠房建筑方式可分為土建結(jié)構(gòu)和裝配式兩種,其中普遍采用裝配式。在硬環(huán)境方面下足功夫 ,服務(wù)于多家世界500強(qiáng)企業(yè),蝕刻產(chǎn)品品質(zhì)只有在無(wú)塵車間建立后,制程上才可以管控。在后期工序生產(chǎn)時(shí)如:腐蝕藥水調(diào)配,蝕刻加工的時(shí)間,才可以達(dá)到完美。裝配式潔凈廠房系統(tǒng)主要由初,中,高三級(jí)空氣過濾的空調(diào)送風(fēng)回風(fēng)和 排風(fēng)系統(tǒng);動(dòng)力及照明系統(tǒng);工作環(huán)境參數(shù)的監(jiān)測(cè)報(bào)警消防和通訊系統(tǒng);人流和物流系統(tǒng);工藝管路系統(tǒng);維護(hù)結(jié)構(gòu)及靜電地面處理等各方面所要求的實(shí)施內(nèi)容組成,形成空調(diào)凈化系統(tǒng)工程所包含的整個(gè)設(shè)備和器材的配套和建筑安裝內(nèi)容
無(wú)塵操作間
潔凈室內(nèi),在動(dòng)態(tài)情況下,細(xì)菌及塵埃的最大發(fā)生源是操作者,當(dāng)操作者進(jìn)入潔凈室之前,必須用潔凈空氣吹淋其衣服表面附著的塵埃顆粒,并起到氣閘的作用。
風(fēng)淋室
傳遞窗主要適用于潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間,或潔凈室與潔凈室之間的小貨物傳遞,可有效的減少潔凈室門的開啟次數(shù),把潔凈區(qū)的污染減少的最低程度。根據(jù)使用要求,傳遞窗箱體表面可噴塑,內(nèi)膽可用不銹鋼,外表美觀。傳遞窗的兩扇門采用電控連鎖或機(jī)械連鎖裝置,可有效的防止低潔凈等級(jí)區(qū)內(nèi)的灰塵帶入高潔凈區(qū)內(nèi),是凈化車間必備佳品。
傳送窗
玻璃幕墻主要適用于隔離潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)或生產(chǎn)區(qū)與非生產(chǎn)區(qū)部分,為管理人員或參觀人員提供方便。
玻璃幕墻
金屬蝕刻加工工藝要求的空氣潔凈度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)及規(guī)范,潔凈度越高,對(duì)蝕刻加工的后工序越有利。卓力達(dá)目前無(wú)塵車間達(dá)到萬(wàn)級(jí)
空氣潔凈度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)及規(guī)范
經(jīng)濟(jì)和科技發(fā)達(dá)的國(guó)家和地區(qū)都有自己的空氣潔凈標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范標(biāo)準(zhǔn),都規(guī)定了有關(guān)的潔凈度等級(jí),例如美國(guó)、日本、西歐、北歐、俄羅斯等。我國(guó)于1984年頒布《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》(GBJ73-84),1996年該規(guī)范進(jìn)行了較大的修改,1990年頒布《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》(JGJ71-90)以指導(dǎo)施工和驗(yàn)收的重要文件。目前,該規(guī)范在重新修訂中。
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